扫描电镜分析


发布时间:2021-02-26 13:45:37 浏览量 47 views
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摘要: 带能力单色过滤器,超高分辨率热场发射扫描电镜,低加速电压下具有较高的分辨率,能够直接观察不导电材料的显微结构,热场发射肖特基电子枪,束流大,且稳定

一、S4800场发射扫描电子显微镜



  加速电压15kV下,二次电子分辨率1nm;

  加速电压1kV下(减速模式),二次电子分辨率1.4nm;   

  材料的显微结构,微区成分分析,低加速电压可直接观察不导电试样。

  二、Magellan 400 场发射扫描电子显微镜



  分辨率:二次电子(SE)像15kV时优于0.8nm,1kV时优于0.9nm,STEM模式,BF像30kV时优于0.6nm

  带能力单色过滤器,超高分辨率热场发射扫描电镜,低加速电压下具有较高的分辨率,能够直接观察不导电材料的显微结构,热场发射肖特基电子枪,束流大,且稳定,电子束流连续可调,适用于纳米尺寸的能谱(EDS)及背散射电子衍射(EBSD)的分析要求。

  三、SU 82220 场发射扫描电子显微镜



  分辨率:二次电子(SE)像,加速电压15kV时优于0.8nm;着陆电压1kV时优于1.1nm;

  电子枪真空:优于2*10-8;

  电子束流条件范围:5pA~10nA;

  二次电子探头:Lower,Upper,Top(含Energy filter).

  新型冷场发射电子枪具有更高的相干度、更高亮度、更小束斑等,因此成像质量更好。低加速电压下也具有较高的分辨率,这样可以减少电子书轰击对样品的损伤,以及减少观察不导电样品时的荷电现象,可以在低加速电压下获得较高衬度的背散射信号。有利于分析多相纳米材料,介孔材料等。

  四、JXA-8100电子探针仪


  材料微区成分的定性和定量分析;

  元素分布的彩色显示;

  材料的显微结构观察与分析;

  材料中缺陷分析;失效分析。

  二次电子象分辨率5nm,元素分析范围B-U,元素检测极限约为0.01%定量分析的总量误差。

  联系方式:

  联系人:电子探针组

  地址:上海市定西路1295号3号楼106、208室

  电话:021/52413108,52413403

关键词 : 扫描电镜
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        文章来源: 中国科学院上海硅酸盐研究所,于 2021-02-26 13:45:37,由 找我测 编辑发表 。

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