扫描电镜的优点及应用范围有哪些


发布时间:2021-02-23 17:29:12 浏览量 292 views
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摘要: 扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

扫描电镜的优点及应用范围有哪些

扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。



扫描电镜的优点:

① 有较高的放大倍数,20-200000倍之间连续可调;

② 有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;

③ 试样制备简单,目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析(即SEM-EDS),因此它是当今十分重要的科学研究仪器之一。

扫描电镜的组成及原理:

扫描电子显微镜由电子光学系统,信号收集及显示系统,真空系统及电源系统组成。从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。

当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。

扫描电镜的应用范围:

1.生物:种子、花粉、细菌……

2.医学:血球、病毒……

3.动物:大肠、绒毛、细胞、纤维……

4.材料:陶瓷、高分子、粉末、金属、金属夹杂物、环氧树脂……

5.化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥(杆菌) 、机械、电机及导电性样品,如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察……)电子材料等。

6.新型陶瓷材料分析

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关键词 : 扫描电镜 SEM
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