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X射线光电子能谱仪

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所属单位: 石河子大学
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X射线光电子能谱仪(X-ray Photoelectron Spectroscopy,下称XPS)是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器,主要用于固体材料的表面(2~3nm深度)元素成分和价态的定性和定量分析。XPS与离子溅射刻蚀相结合,可以用于固体表面元素成分、价态和深度剖析;与离子蒸镀或其他分子束外延技术相结合,可以进行原位样品的制备及分析工作。