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宽光谱穆勒椭偏仪

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所属单位: 武汉颐光科技有限公司
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服务内容

通过覆盖深紫外到近红外波段的反射率、透射率、椭偏角、斯托克斯向量、穆勒矩阵等光谱测量,可分析各向同性、各向异性微纳薄膜和微纳米结构的光学常数、结构形貌等参数。面向单层或多层微纳米薄膜结构,可实现以下参数或特性的同时测试分析,包括: 多层薄膜厚度(亚纳米至数微米厚度); 折射率和消光系数(n&k); 各向异性和双折射特性参数(nx, ny, nz); 能带隙特性参数(Eg); 薄膜表面粗糙度与薄膜不均匀性; 孔隙特性、合金(复合)材料组分、结晶度; 纳米结构形貌参数(周期、线宽、线高、侧壁角