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磁控溅射仪

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所属单位: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
所在位置: 上海市
距离位置: 12956.4km
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服务内容

制备镶嵌于NaF和SiO2介质中孤立分散的Ge、GaSb 、InSb半导体量子点、纳米晶和薄膜,以及掺杂Mn、Co、Fe、Cu 等金属的稀磁半导体薄膜。工作方式为单靶独立工作、轮流工作、双靶共溅和三靶共溅射。