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多功能薄膜沉积系统

仪器品牌： 金盛微纳 仪器型号： 非标设备
测试价格： ￥400元/小时 起 ￥500元/样 起 浏览
447+
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测试项目：
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薄膜制备
预约时间：
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微电子与信息材料研究中心
微电子与信息材料研究中心
LV 2
已认证
地点：浙江省 杭州市 滨江区
电话： 登录后可查看

主要参数

磁控室：极限真空度≤1*10-5Pa；停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；
蒸镀室：极限真空度≤2.3*10-5Pa；停泵关机12小时后真空度：≤5Pa。

主要功能

薄膜制备

服务内容

薄膜制备
对外共享，提前联系委托寄样，现场观摩需预约
预约机时规则
最少预约时长 1.0
预约时长梯度 0.5
须提前预约时间 1.0/天
允许预约时间范围 1.0/周
无
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