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单室磁控溅射系统

仪器品牌： 中科院沈科仪 仪器型号： FJL560
测试价格： ￥400元/小时 起 ￥500元/小时 起 浏览
880+
服务模式：
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委托测试
使用方式：
测试项目：
测试项目：
薄膜制备
预约时间：
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微电子与信息材料研究中心
微电子与信息材料研究中心
LV 2
已认证
地点：浙江省 杭州市 滨江区
电话： 登录后可查看

主要参数

极限真空度≤6.6*10-5Pa；
系统真空检漏漏率≤5*10-7Pa.l/S；
停泵关机12小时后真空度：≤5Pa

主要功能

薄膜制备

服务内容

薄膜制备
对外共享，提前联系委托寄样，现场观摩需预约
预约机时规则
最少预约时长 1.0
预约时长梯度 0.5
须提前预约时间 1.0/天
允许预约时间范围 1.0/周
无
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