收藏

单室磁控溅射系统

仪器品牌: 中科院沈科仪 仪器型号: FJL560
测试价格: ¥400元/小时 起 ¥500元/小时 起 浏览
517+
服务模式:
机时预约
委托测试
使用方式:
测试项目:
测试项目:
薄膜制备
预约时间:
08:00-08:30 08:30-09:00 09:00-09:30 09:30-10:00 10:00-10:30 10:30-11:00 11:00-11:30 11:30-12:00 13:00-13:30 13:30-14:00 14:00-14:30 14:30-15:00 15:00-15:30 15:30-16:00 16:00-16:30 16:30-17:00 17:00-17:30 17:30-18:00
08:00-08:30 08:30-09:00 09:00-09:30 09:30-10:00 10:00-10:30 10:30-11:00 11:00-11:30 11:30-12:00 13:00-13:30 13:30-14:00 14:00-14:30 14:30-15:00 15:00-15:30 15:30-16:00 16:00-16:30 16:30-17:00 17:00-17:30 17:30-18:00
08:00-08:30 08:30-09:00 09:00-09:30 09:30-10:00 10:00-10:30 10:30-11:00 11:00-11:30 11:30-12:00 13:00-13:30 13:30-14:00 14:00-14:30 14:30-15:00 15:00-15:30 15:30-16:00 16:00-16:30 16:30-17:00 17:00-17:30 17:30-18:00
08:00-08:30 08:30-09:00 09:00-09:30 09:30-10:00 10:00-10:30 10:30-11:00 11:00-11:30 11:30-12:00 13:00-13:30 13:30-14:00 14:00-14:30 14:30-15:00 15:00-15:30 15:30-16:00 16:00-16:30 16:30-17:00 17:00-17:30 17:30-18:00
08:00-08:30 08:30-09:00 09:00-09:30 09:30-10:00 10:00-10:30 10:30-11:00 11:00-11:30 11:30-12:00 13:00-13:30 13:30-14:00 14:00-14:30 14:30-15:00 15:00-15:30 15:30-16:00 16:00-16:30 16:30-17:00 17:00-17:30 17:30-18:00
08:00-08:30 08:30-09:00 09:00-09:30 09:30-10:00 10:00-10:30 10:30-11:00 11:00-11:30 11:30-12:00 13:00-13:30 13:30-14:00 14:00-14:30 14:30-15:00 15:00-15:30 15:30-16:00 16:00-16:30 16:30-17:00 17:00-17:30 17:30-18:00
08:00-08:30 08:30-09:00 09:00-09:30 09:30-10:00 10:00-10:30 10:30-11:00 11:00-11:30 11:30-12:00 13:00-13:30 13:30-14:00 14:00-14:30 14:30-15:00 15:00-15:30 15:30-16:00 16:00-16:30 16:30-17:00 17:00-17:30 17:30-18:00
微电子与信息材料研究中心
微电子与信息材料研究中心
LV 2
已认证
地点:浙江省 杭州市 滨江区
电话: 登录后可查看

主要参数

极限真空度≤6.6*10-5Pa;
系统真空检漏漏率≤5*10-7Pa.l/S;
停泵关机12小时后真空度:≤5Pa

主要功能

薄膜制备

服务内容

薄膜制备
对外共享,提前联系委托寄样,现场观摩需预约

预约机时规则
最少预约时长 1.0
预约时长梯度 0.5
须提前预约时间 1.0/天
允许预约时间范围 1.0/周