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高真空电阻蒸发镀膜机

仪器品牌： 北京泰科诺 仪器型号： ZHD400
测试价格： ￥300元/小时 起 ￥300元/小时 起 浏览
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薄膜制备
预约时间：
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微电子与信息材料研究中心
微电子与信息材料研究中心
LV 2
已认证
地点：浙江省 杭州市 滨江区
电话： 登录后可查看

主要参数

金属蒸发源：室温-1300℃；
水冷基片台：转速0-20rpm；
极限真空优于6.6*10-5Pa，设备升压率≤0.8Pa/h

主要功能

薄膜制备

服务内容

薄膜制备
对外共享，提前联系委托寄样，现场观摩需预约
预约机时规则
最少预约时长 1.0
预约时长梯度 0.5
须提前预约时间 1.0/天
允许预约时间范围 1.0/周
无
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